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此刻两人心潮澎湃,他们觉得在新老板的带领下,一定能够制造出完全属于华国的光刻机,当然了,他们也知道,即便造出来,和国外的差距依然不小,但就像老板说的那样,只要完成了全产业链布局,接下来的更新速度会更快的,所以他们很有信心。

“老板放心,我们知道该怎么做了。”

“好。”林语点了点头,“现在我们言归正传,来说说两组的研究方向吧!”

刘成林和王乾伟全都认真起来,尤其将笔拿热起来,准备记录。

“第一组继续dUV光刻机的研发,但是要做些更改,选择193nm的紫光进行研究,将镜头和光刻胶之间的介质改为液体,这些紫光经过折射后,等效波长为134nm,从而实现比F2光源更高的分辨率。当然了,这么改的原因在于F2光源无法穿透水,因此无法和浸没式技术相结合,进一步提升分辨率。而沉浸式技术在光刻精度上更高一些。当然了,这个穿透的介质可能是水,也可能是添加了其他元素的液体,这就需要你们反复的研究了。”

在场的人全都被惊到了,因为老板显然是对技术有一些了解的,虽然不是那么的专业,但是能够说出问题的关键。

“老板,我们采用的技术和现在排名第一和第二的光刻机公司一样,所以您的这个路线可能......”刘成林质疑道,但是他并没有直接说老板的路线是错的,但已经暗指了。

“按照我说的去做,没有商量的余地......”林语严肃的说道,“你们虽然研制出了光刻机,但是可以说它是个组装机,而且85%的零件全都是进口的,先不说和国外先进光刻机还有一定的差距,光是零部件被限制,就会影响你们的研发进度,所以必须另辟蹊径,只有这样才能弯道超车。”

听到林语的话,刘成林的眉头皱了一下,因为他显然没想到,老板竟然没听他的话,而且能够看的出来,老板有些独断专行,但是既然老板这么说了,他也不能说什么了,毕竟老板给他们涨了工资,还加大了投资,老板怎么说,就怎么做吧!

而王乾伟却瞪大了眼睛,因为他觉得老板说到了点子上,通过折射将紫光波长减小,岂不是一个好的办法吗?因为他去参加过国外举办的一个座谈会,发现(深紫外)光刻的专家就曾和他推过沉浸式光刻机技术,说的就是采用193nm紫光,然后通过介质改变波长。

只不过由于前两大巨头全都选择了157nm的F2的准分子光源作为研发方向,制作干式光刻机,所以他们也跟着做了这样的研究,因为他们知道,跟着老大老二肯定是没错的。

林语看出刘成林有些不服气,这也是可以理解的,毕竟刘成林是专业,也是科研大拿,但他可是重生而来,知道哪条路是行得通的,所以这个时候必须要按照他说的去办,这样能够少走很多弯路。

当然了,他也只是知道研发方向的事情,说的也只是一些的皮毛,但是他们肯定能够听明白的,只要按照林语说的去研发,肯定就没有问题。

“先研发出来浸没式光刻样机,等研发出来,继续研发下一代光刻机,但同步要将生产线做出来,生产线也要完全自主设计、研发、制造,不需要多,只需要一条就可以,这条生产线也不是为了量产光刻机,而是为了下一代的生产线做研究,因为我们造出的第一台光刻机,可能并不是那么的先进,造出的光刻机也不会销售,只会交给公司自己使用。”

“下面我说说这一组研发的第二代产品,我说的第二代不是软件和硬件的更新,而是彻底的改变设计思路,这次采用的不是深紫光,而是采用极紫光。”

林语的话刚刚说完,所有人全都瞪大了眼睛,因为这个概念他们完全没有听到过。因为他们连深紫光都没有研究明白,又怎么会研究极紫光。

林语也是看出了众人的惊讶,他直接说道

“极紫光是波长在13.5nm的紫光,由于这种光拥有很大的破坏性,所以对各零部件的材料和工艺有很大的要求,而且这种波长的光需要在真空条件下工作,更为重要的是,他需要一款专用的反射镜,这款反射镜的精度必须达到pm级别,你们在研发第一代产品的时候,就可以着手在零部件上超越你们现有的研究,只有这样,才能更快的研发出我说的极紫光刻机。”

只见台下的科研人员不停的用笔记录着,因为他们知道这是一个全新的研发方向,因为老板竟然说出了具体的数值,尤其是那精度pm级别的反射镜,哪怕是用在现有的光刻机上,都能进一步提高精度。

刘成林和王乾伟两人深呼了一口气,尤其是刘成林,他知道老板是做了功课的,因为这种研究方向竟然连他这个搞了二十多年光刻机的人都不知道,但是听起来又是那么的可行。

他竟然咬紧牙关,为之前对老板的质疑而感到惭愧。

“老板,这些你都是怎么知道的?”

“这你们就不用管了,按照我说的方向去做研究,错误的单由我来承担,你们放心去做就行。”

刘成林情不自禁的点了点头,这次他是真心佩服老板的。不是说老板说的有多么专业,而是老板所说的方向是他没有想到过的。但是通过老板的叙述,还是能够看的出来,老板对技术并不是很懂,他可能也是从别处得到的研发方向,只是转述出来,但肯定是最先进的方向,不然他不会这么肯定的。

林语继续说道

“有些零件从零开始去做是很麻烦的,所有可以购买一些成品,然后反复的研究,当然也可以去高新区挖一些关键的人才,用钱去解决的问题,都不是问题。”

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